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設(shè)備性能

可調(diào)傳動(dòng)速度：0.5-3m/min

常規(guī)運(yùn)行速度：2.5m/min

產(chǎn)能： Up to 4000 Wafers/H@20mm

  Up to 6800 Wafers/H@20mm

           Up to 8000 Wafers/H@20mm

設(shè)備有效利用率：≥98%

刻蝕深度范圍：0.7~6μm

碎片率：≤0.03%

硅片規(guī)格

硅片厚度：≥140μm

硅片尺寸：156.75*156.75mm-212*212mm

傳動(dòng)

傳動(dòng)類(lèi)型：5 lane/6 lane

軸間距：50mm/60mm

主傳動(dòng)軸：17mm,Hexagon

傳動(dòng)滾輪：Φ32mm

方向

工作方向：Left→Right/ Right→Left（TBD） 

電力供應(yīng)

供電：AC380V 3PH+PE+N 50Hz（TBD）

控制電源：DC 24V

滿(mǎn)載電源：75A

建議最大保險(xiǎn)絲規(guī)格：100A

安裝要求

最小地面承重：75Kg/㎡

最低車(chē)間高度：3.5m

無(wú)塵室級(jí)別：ISO7(10K Class)

環(huán)境溫度：17℃＜RT＜30℃

最大濕度：70%